根据真空阀门的应用场合，使用特点，其基本要求，应包括以下几个方面。

（1）阀门的密封性能要求。即应拥有较高的气密性，不但阀盖（亦称阀板）封闭处漏气率要求，而且阀体的漏气率也要求。

（2）阀门密封部件耐磨性要好。特别是阀座与阀盖密封部件要能反复使用、寿命长。

（3）阀门对气流的阻力尽量小，即阀门的流导尽可能要好。

（4）阀门材料要具有低饱和蒸气压、高抗腐蚀能力和高化学稳定性、超高真空阀门材料应耐烘烤。烘烤温度一般不低于150℃、最高450℃。

（5）阀门零部件加工工艺性要好，表面处理工艺先进，阀门连接法兰应符合真空法兰国家标准要求。具有通用性、互换性。

（6）阀门结构要简单，造型美观大方，开关轻便、灵活。开关状态应有标志。大型阀门（公称通径N_D≧500mm）应用起吊装置，操作方便，维修容易。

此外，对节流阀要求能均匀调节气体流量，对真空微调阀（又称针阀）由于它是用来向真空系统中充气并可精确调节进气流量的，常用于真空泵抽速测量、真空镀膜设备、离子束刻蚀设备真空系统中，因此，该阀对针形状的阀芯加工质量要求较高。阀门的开放、关闭应有限位装置，以避免关闭阀门时因用力过大，将针阀芯拧断事故的发生。